在材料領域中，
掃描電子電鏡發揮著重要的作用，被廣泛應用于各種材料的形態結構、界面狀況、損傷機制及材料性能預測等方面的研究。利用它可以直接研究晶體缺陷及其產生過程，可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界，也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，還可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等。
掃描電子電鏡一般都配有波譜儀或者能譜儀。波譜儀和能譜儀是不能互相取代的，只能是互相補充。
波譜儀是利用布拉格方程2dsinθ=λ，從試樣激發出了X射線經適當的晶體分光，波長不同的特征X射線將有不同的衍射角2θ。波譜儀是微區成分分析的有力工具，它的波長分辨率是很高的，但是由于X射線的利用率很低，所以它使用范圍有限。
能譜儀是利用X光量子的能量不同來進行元素分析的方法，對于某一種元素的X光量子從主量子數為n1的層躍遷到主量子數為n2的層上時，有特定的能量ΔE=En1-En2。能譜儀的分辨率高，分析速度快，但分辨本領差，經常有譜線重疊現象，而且對于低含量的元素分析準確度很差。
下面咱們來了解下掃描電子電鏡塊狀試樣的制備方法：
1、非導電性材料：試樣的制備也比較簡單，基本可以像導電性塊狀材料試樣的制備一樣，但是要注意的是在涂導電銀漿的時候一定要從載物盤一直連到塊狀材料試樣的上表面，因為觀察時候電子束是直接照射在試樣的上表面的。
2、導電性材料：主要是指金屬，一些礦物和半導體材料也具有一定的導電性，這類材料的試樣制備較簡單。只要使試樣大小不得超過儀器規定（如試樣直徑為φ25mm，厚不超過20mm等），然后用雙面膠帶粘在載物盤，再用導電銀漿連通試樣與載物盤，等銀漿干了之后就可放到該儀器中直接進行觀察。
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